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俄罗斯绕过制裁 为35年前的光刻机续命:自研光刻机已亮相

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  • 2024-09-09 12:33

国外媒体报道称,俄罗斯近日绕过了制裁,为本国存在了35年的光刻机续命。

报道中提到,尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器,但俄罗斯公司仍在2022年和2023年成功获得了ASML 1990年代芯片制造机器的备件。

俄罗斯进口商已经想方设法为ASML的PAS 5500光刻工具引进了至少170批备件,而ASML 则表示,近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何往来。

ASML的PAS 5500系列200毫米光刻工具最初于1991年推出,并在20世纪90年代和2 世纪初不断发展。如今,PAS 5500系列包括i-line、氟化氪(KrF)步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩(ArF)步进扫描系统。

虽然ASML不再生产这些光刻工具,但它销售翻新的PAS 5500机器,并计划将其支持到2035年,因此市场上有大量的备件,尤其是在中国。

不过俄罗斯也根本没啥怕的,在这之前他们首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。

俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克指出,该设备可确保生产350nm的芯片。

在俄罗斯看来,尽管350nm的芯片技术相较之下显得落后,但它在汽车、能源和电信等诸多行业中仍有着应用价值。

俄罗斯已经表示,计划到2026年实现65nm的芯片节点工艺,2027年实现28nm本土芯片制造,到2030年实现14nm国产芯片制造。


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